有靶材中毒的说法，但是靶材中毒指的是靶材受到外界环境影旁绝汪响或者遇到氧化物等致使靶材不能导电等正运仔常使用，不是说靶材对人体有毒。一般靶材对人没有毒的，个别化合物靶材可能对人体接触面有伤宏明害，接触的时候注意隔离。
没有毒性的，常规的靶材都仿码雹不会有害
遇到一些特殊的靶材要注意防护，比如制备铍靶材，五氧化二钒靶材这类的
常见铝铜钛镍等金属备帆靶材生产过程中都没模竖有危害的
溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；
亦可应用于玻璃镀膜领域；
还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品仿贺等行业。
分类 根据形状可分为长靶，方靶，圆靶，异型靶腊大塌 根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材 根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等 根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、轮圆导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材
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